[10a-Z27-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[10a-Z27-5] 2THz帯導波管型超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサの作製(1)

〇川上 彰¹、入交 芳久¹、Wang Ming-Jye²、Lu Wei-Chun²、菱田 有二¹、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.台湾ASIAA)

キーワード：超伝導, 導波管, ホットエレクトロンボロメータミキサ

超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサ(HEBM)は，2 THz以上での動作が期待されているミキサ素子である．我々はNi磁性材料を用いた新たなHEBM構造(Ni-HEBM)を提案，準光学型Ni-HEBMは，低雑音温度と広IF帯域を達成している．現在，より良好なビームパターンを有する導波管型HEBMの開発が望まれており，今回，Si₃N₄メンブレン構造による2 THz帯導波管型Ni-HEBMを検討， NbN極薄膜成膜法とメンブレン構造形成法について述べる。