[10a-Z28-1~13] 17.2 グラフェン

[10a-Z28-5] THz透過測定とTHzエリプソメトリー測定を用いたグラフェン/サファイアの電気特性評価

〇(M1)鈴木 拓輝¹、佐藤 希一¹、藤井 高志^1,2、毛利 真一郎¹、荒木 努¹、岩本 敏志²、佐藤 幸徳²、上田 悠貴³、成塚 重弥³ (1.立命館大理工、2.日邦プレシジョン、3.名城大理工)

キーワード：グラフェン, テラヘルツ, エリプソメトリー

我々のグループでは、グラフェンの電気特性(シート抵抗、キャリア濃度、移動度)を電極なしで測定する技術開発を行っている。現在、金属上グラフェンの測定技術に対する期待が高くなっている。この際、基板に依存しない測定方法である反射分光解析が必要となる。今回は、r面サファイアの面内異方性を考慮し、THzエリプソメトリー測定、THz透過測定、Hall測定を用いて測定したグラフェンのシート抵抗を比較し、議論する。