[10a-Z28-1~13] 17.2 グラフェン

[10a-Z28-9] 酸化グラフェンアシストシリコンエッチングにおける反応活性点

〇窪田 航¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹、杉村 博之¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化グラフェン, シリコンエッチング, 触媒

シリコン表面加工技術として，炭素材料をエッチング反応に対する触媒として用いたアシストエッチングが注目されている．当研究室では酸化グラフェンを用いたアシストエッチングを報告してきた．今回われわれはこの触媒機構解明及びエッチング速度向上のため，酸化グラフェン構造に含まれる欠陥に着目し，異なる方法で作製した酸化グラフェンをアシストエッチングに適用することで，触媒能の構造欠陥依存性について調査した．