The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

Presentation information

Oral presentation

17 Nanocarbon Technology » 17.3 Layered materials

[10a-Z29-1~14] 17.3 Layered materials

Thu. Sep 10, 2020 8:30 AM - 12:15 PM Z29

Hitoshi Wakabayashi(Tokyo Tech)

11:15 AM - 11:30 AM

[10a-Z29-11] Nanoscale evaluation for the number of layers of few-layer hexagonal boron nitride with scattering-type scanning near-field optical microscopy

MAKOTO TAKAMURA1, Yoshitaka Taniyasu1 (1.NTT Basic Res. Labs.)

Keywords:h-BN, s-SNOM, MOCVD

六方晶窒化ホウ素(h-BN)はグラフェンに代表される二次元材料の絶縁基板として有望である。近年、化学気相成長法による数層h-BNの大面積合成に関する研究も盛んになってきた。しかし、h-BNの層数や、その面内均一性を評価する非破壊で簡便な方法は確立されていない。今回、散乱型走査近接場光学顕微鏡(s-SNOM)により、ナノオーダーの空間分解能でh-BNの面内層数分布を評価できることを報告する。