[10a-Z29-1~14] 17.3 Layered materials

[10a-Z29-9] Metallic MoTe₂ formation with a combination of ion implantation and thermal anneal

〇(M1)Satoshi Nogamida¹, Shunya Hayashida¹, Kentarou Sawano¹, Yusuke Hoshi¹ (1.Tokyo City Univ.)

Keywords:Molybdenum ditelluride

二テルル化モリブデンは、半導体である2H相と金属である1T’相の結晶構造を有する層状物質である。2H-MoTe₂バルク単結晶にレーザー照射すると、1T’相とは異なる金属相が得られると報告されており、結晶欠陥と温度上昇が2H相から金属相への相転移に大きく寄与している。本研究では、イオン注入による結晶欠陥生成と熱処理を組み合わせることで2H-MoTe₂バルク単結晶を金属相へと変化させることに成功したので報告する。