[10p-Z06-1~19] 6.6 プローブ顕微鏡

[10p-Z06-12] 交番磁気力顕微鏡を用いた垂直磁気記録媒体薄膜のジグザグ状磁化反転境界の高分解能検出

〇(M1)田中 花道¹、和田 真羽¹、松村 透¹、齊藤 準¹ (1.秋田大理工)

キーワード：磁気力顕微鏡

磁気力顕微鏡（MFM）では、高密度磁気記録媒体を構成する5nm以下の磁性結晶粒サイズに起因するジグザク形状の磁化反転境界の検出が空間分解能不足により困難である。本研究では、試料表面近傍で磁場の単独検出が可能な交番磁気力顕微鏡および測定感度が高いFe系非晶質高磁歪ソフト磁性探針を用いて垂直磁気記録媒体薄膜の観察を行い、磁場のゼロ値検出機能によりnmオーダーのジグザク形状の磁化反転境界の可視化に成功した。