[10p-Z08-11~17] 10.3 スピンデバイス・磁気メモリ・ストレージ技術

[10p-Z08-16] 生体磁場計測のための高感度・低ノイズTMR磁気センサの開発

〇藤原 耕輔¹、大兼 幹彦²、チャキル サブリ¹、熊谷 静似¹、有本 直³、安藤 康夫^1,2 (1.スピンセンシングファクトリー(株)、2.東北大、3.コニカミノルタ(株))

キーワード：磁気センサー, 生体磁場, 心磁計

磁気分解能7 pT/√Hz@1 HzのTMRセンサを開発した。心磁図計測では、心拍によるRピークが観測され、平均化によって明瞭なQRS波を観測した。また、静磁気的に結合したフリー層を用い、磁気ノイズを約半分に低減することに成功した。さらに、信号源に近いセンサと遠いセンサを用意しグラジオメータを構成することで環境ノイズの劇的な低減に成功し、シールドルーム不要の高感度磁気センサの実現可能性を示した。