[10p-Z09-1~20] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[10p-Z09-2] フッ化炭素系ブラシのアルカリ洗浄挙動

〇根本 悠平¹、金井 隆宏¹、濱田 崇広¹、長嶋 裕次¹、永原 聖万¹ (1.芝メカ(株))

キーワード：半導体, フッ化炭素系ブラシ, アルカリ洗浄

耐薬性のあるフッ化炭素系ブラシの開発を行ったが、pH中性領域では、高い洗浄性能を発揮できたが、SC1等のアルカリ洗浄において、既存PVAブラシと比較すると著しく洗浄性能が低下する問題があった。そこで、フッ化炭素系ブラシの表面状態等の改良を行うことでアルカリ洗浄においてもPVAと同等の洗浄性能を達成できた。