[10p-Z09-1~20] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[10p-Z09-3] 酸性水溶液中のモリブデンの腐食挙動

〇秋本 紗希¹、平川 雅章² (1.芝浦メカトロニクス、2.東芝 生産技術センター)

キーワード：ウェットエッチング, 半導体, リン酸