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[10p-Z11-14] Effect of radiative heat and hydrogen radicals during Cat-CVD on MAPbI3 films
Keywords:Perovskite solar cells, Cat-CVD, Amorphous silicon
MAPbI3膜に対するCat-CVDにおける輻射熱と水素ラジカルの影響を調査した。1800 °Cに加熱した触媒体からの熱輻射のみ、および触媒体を加熱せずにH2を流入させた場合には、MAPbI3の透過率は変化しなかった。触媒分解で生成した水素ラジカルはMAPbI3と反応し、光学特性を変化させた。20 nmのp型a-Siを製膜すると、透過率が変化せず、水素ラジカルとの反応を抑えられることを確認した。