[10p-Z13-1~8] フォノンエンジニアリングの最前線

[10p-Z13-4] 機能性薄膜の熱物性

〇重里 有三¹、岡 伸人²、賈 軍軍³、柏木 誠¹、山下 雄一郎⁴、八木 貴志⁴、竹歳 尚之⁴ (1.青学大理工、2.近大産業理工、3.早大GCSE、4.産総研)

キーワード：機能性薄膜, 熱物性, ピコ秒～ナノ秒パルス光加熱サーモリフレクタンス法

様々な機能性薄膜は、マイクロエレクトロニクス、稼働設備から大型建造物に至るまで幅広い分野で応用されている。これらの応用分野で熱設計のための正確な熱物性値が必要とされ、さらに制御することが求められている。様々な酸化物半導体、縮退半導体、金属、窒化物等の数十nmから数百nmの厚さの薄膜に関してピコ秒～ナノ秒パルス光加熱サーモリフレクタンス法により熱拡散率を求め、薄膜の構造や諸物性との相関を議論する。