The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

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Oral presentation

2 Ionizing Radiation » 2.2 Detection systems

[10p-Z14-1~21] 2.2 Detection systems

Thu. Sep 10, 2020 12:45 PM - 6:30 PM Z14

Hidenori Toyokawa(Spring-8), Keitaro Hitomi(Tohoku Univ.), Keisuke Maehata(Teikyo Univ.)

3:15 PM - 3:30 PM

[10p-Z14-10] Pixel-separated Scintillator Type X-ray Imager with Si-grid Collimator

Ryota Ohtake1, Kento Tabata2, Junichi Nishizawa2,3, Shairendora Singh3, Akihumi Koike3, Katsuyuki Takagi3, Toru Aoki1,2,3 (1.Shizuoka Univ., 2.RIE Shizuoka Univ., 3.ANSeeN Inc.)

Keywords:X-ray imager, scintillator, CsI(Tl)

間接変換型X線イメージセンサでは、シンチレータ層での光拡散に起因する空間分解能の低下が課題となっている。我々はこの課題解決に向けて、シリコン基板を半導体微細加工技術で格子状に加工したシリコングリッドを用いて、シンチレータ材料を画素ごとに分離する手法を検討してきた。本研究では、90 μm×90 μmの角穴を100 μmピッチで空けた400 μm厚シリコングリッドにCsI(Tl)シンチレータを封入し、その入出力特性について調査した。