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[10p-Z18-5] 3mmΦ大面積フォトニック結晶レーザーの作製・特性評価 (Ⅱ)
キーワード:フォトニック結晶, 半導体レーザー, フォトニック結晶レーザー
フォトニック結晶レーザー(PCSEL)は活性層近傍に設けた2次元フォトニック結晶のバンド端共振効果を活用した大面積面発光型半導体レーザーである。我々は、PCSELの大面積・高輝度動作に適した二重格子フォトニック結晶共振器を提案し、1 mmΦの大面積デバイスにおいて、650 MWcm-2sr-1の高輝度動作に成功している。最近、デバイス面積をさらに1桁近く拡大した3mmΦ PCSELの開発に取り組んでいる。今回、このような大面積デバイスの詳細な特性を報告する。