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[10p-Z22-15] 質量負荷効果に基づくワイヤレスSAWセンサ認識法
キーワード：弾性表面波, パッシブ弾性表面波センサ, センサ識別
本研究では， SAWデバイス上のSAW伝搬面に金を負荷膜として金を装荷し，その膜厚を変化させた時の位相差とSAW伝搬時間の計測を行い，その変化の傾向を検討することを目的とし実験を行った．位相差測定では，位相差と膜厚に相関が得られた． SAW伝搬時間測定では，膜厚が大きい場合に膜厚と伝搬時間に相関が得られた．これらの結果を応用することでSAWセンサの識別が可能になると考えられる．