[10p-Z22-6~18] 1.6 超音波

[10p-Z22-9] LiTaO₃/水晶接合構造を用いたリーキーSAW高調波の強勢励振

〇浅川 詩織¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、手塚 彩水²、水野 潤² (1.山梨大工、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波, 漏洩弾性表面波, 高調波

弾性表面波(SAW)デバイスには高周波化・広帯域化といった高性能化が要求されている．当研究グループでは，高周波化の為にLiTaO₃(LT)とquartzを異種材料接合させた構造上のリーキーSAW(LSAW)高調波励振について検討してきた．本報では，同構造上のLSAW高次高調波のメタライゼーション比依存性，周波数温度係数(TCF)について実験的に検討した結果を報告する．実験の結果，接合構造における共振TCFのh/λ依存性は理論値と概ね一致しLT単体よりも良好な値が得られた．