2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[10p-Z23-1~16] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2020年9月10日(木) 13:15 〜 18:00 Z23

川西 咲子(東北大)、野口 宗隆(三菱電機)、俵 武志(富士電機)

16:30 〜 16:45

[10p-Z23-12] 熱平衡状態における4H-SiCエピタキシャル層中シングルショックレー型積層欠陥の縮小運動

〇(M1)Do Euihyeon1、金子 光顕1、木本 恒暢1 (1.京大院工)

キーワード:シリコンカーバイド, 積層欠陥