2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[10p-Z23-1~16] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2020年9月10日(木) 13:15 〜 18:00 Z23

川西 咲子(東北大)、野口 宗隆(三菱電機)、俵 武志(富士電機)

14:00 〜 14:15

[10p-Z23-4] 電極応用に向けた導電性SiC薄膜作製

小出 崇史1、金 勇2、安原 重雄2、竹内 和歌奈1 (1.愛知工業大工、2.Japan Advanced Chemicals Ltd.)

キーワード:SiC, ビニルシラン, P ドーピング