[10p-Z27-1~12] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[10p-Z27-4] シリコン光導波路のアサーマル化に向けたシャロー導波路及びクラッド材料の検討

〇石川 直人¹、杉原 興浩¹ (1.宇大工)

キーワード：ハイブリッド材料, シリコン光導波路, アサーマル化