[11a-Z01-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-Z01-10] スパッタリング法でガラス基板上に形成したBaSi₂膜の分光感度特性

〇小板橋 嶺太¹、根本 泰良¹、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：BaSi2, スパッタ法