[11a-Z01-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-Z01-9] RFスパッタ時のRFパワーがBaSi₂膜の分光感度に与える影響

〇根本 泰良¹、小板橋 嶺太¹、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大、2.東ソー)

キーワード：半導体