2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-Z01-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2020年9月11日(金) 08:30 〜 11:30 Z01

末益 崇(筑波大)、原 康祐(山梨大)

10:45 〜 11:00

[11a-Z01-9] RFスパッタ時のRFパワーがBaSi2膜の分光感度に与える影響

根本 泰良1、小板橋 嶺太1、召田 雅実2、都甲 薫1、末益 崇1 (1.筑波大、2.東ソー)

キーワード:半導体