[11a-Z05-1~7] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[11a-Z05-3] プラズマ可変キャパシタの損失へガス圧力が与える影響

〇西岡 宗¹、山浦 真悟¹、内藤 皓貴¹、西本 研悟¹、西岡 泰弘¹ (1.三菱電機株式会社)

キーワード：プラズマ, 回路素子, 可変キャパシタ

近年，プラズマの誘電率可変性を活用したプラズマ可変キャパシタが提案されている．本キャパシタは静電容量値の高速切り替えと高い耐電力性の兼備が期待されているが，低損失化が課題である．そのため本稿では，ガス圧力が本キャパシタの損失に対して与える影響の解明を目的する．測定結果では，低ガス圧化によって本キャパシタの損失は改善する傾向を確認できるが，実用化に向けて更なる低損失化手法の提案が必要である．