[11a-Z06-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[11a-Z06-9] Evaluation of WS₂/WSe₂ in-plane heterostructure device using photo-excited multiprobe STM

〇Hiroyuki Mogi¹, Ryusei Kikuchi¹, Ryosuke Mizuno¹, Naoki Wada², Yasumitsu Miyata², Shoji Yoshida¹, Osamu Takeuchi¹, Hidemi Shigekawa¹ (1.Univ. of Tsukuba, 2.Tokyo Metro. Univ.)

Keywords:STM, Multiprobe, TMDCs

遷移金属ダイカルコゲナイド系(TMDCs)二次元半導体は、組成変調等によりヘテロ接合を利用したデバイス応用が期待されており、大きなバンドオフセット差が得られると期待される面内ヘテロ接合においてはナノスケールでの評価が重要であるが、未だそのような報告は少ない。本研究では、発表者らが開発した光励起多探針走査トンネル顕微鏡を用いてWS₂/WSe₂面内ヘテロ接合デバイスの顕微的評価を行った結果を報告する。