[11a-Z07-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11a-Z07-2] ダイナミックオーロラPLD法を用いたペロブスカイト型CaTaO₃薄膜の作製

〇川口 昂彦¹、杉田 真由子¹、青島 楓汰¹、坂元 尚紀¹、鈴木 久男¹、脇谷 尚樹¹ (1.静大院工)

キーワード：PLD, 誘電体, ペロブスカイト

我々が開発してきたダイナミックオーロラPLD法では、製膜中の磁場印加によってプルームの再結合を抑制することで、高エネルギー状態の原料を薄膜に供給できる。これにより非平衡相の薄膜作製が期待できる。我々は、ダイナミックオーロラPLD法を用いたCa-Ta-O系の薄膜作製においてCa/Ta～1の組成で、ペロブスカイト構造を有する薄膜が得られた。状態図ではCa/Ta~1での単相としてはパイロクロア相しか報告されていないため、このペロブスカイト相は非平衡相であると考えられる。また、室温で比較的高い誘電率を示す常誘電体であることが示唆されたため報告する。