[11a-Z07-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11a-Z07-4] 反応性MBEで作製したNiCo₂O₄のアニール時酸素分圧依存性

辻榮 朝香¹、原 吉典¹、柳瀬 隆²、島田 敏宏²、〇長浜 太郎² (1.北大総化院、2.北大院工)

キーワード：磁性酸化物, 薄膜, 電気伝導性

NiCo2O4は最近スピントロニクス材料としての可能性が注目され、高機能材料薄膜としての開発が行われている。興味深い特徴は、室温で電気伝導性を示し、酸化物にも関わらず温度の低下とともに電気抵抗が減少する金属的な電気伝導を示すことである。またNiCo2O4は基板および製膜条件によっては垂直磁気異方性を示すことが報告されている。以上のような特性は試料作製条件に強く依存し、電気伝導性や磁性が得られるのは10〜100Paという高い酸素分圧下で製膜した場合に限られる。本研究では反応性MBE法と高酸素雰囲気中アニールにより作製し、その特性を調べた。