[11a-Z07-1~9] 6.3 Oxide electronics

[11a-Z07-7] Fabrication and evaluation of all-solid-state amorphous thin-film Lithium-ion battery

〇Kotaro Yoneda¹, Masayasu Yoshida¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:Thin film battery, Lithium ion battery

全固体リチウムイオン薄膜電池は、MEMSデバイスのオンチップ電源やエナジーハーベスタの電力貯蔵源などへの応用が注目されている。本研究グループでは、成膜の際に昇温を必要としないアモルファス薄膜で構成された全固体薄膜電池の作製および評価を行っている。今回Li₃PO₄添加酸化バナジウム(V₂O₅+LPO)正極、LiPON電解質、およびSi負極のアモルファス薄膜からなる薄膜電池を作製し、その充放電特性を評価した。