[11a-Z07-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11a-Z07-7] 全固体アモルファス薄膜リチウムイオン電池の作製と評価

〇米田 宏太朗¹、吉田 将康¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：薄膜電池, リチウムイオン電池

全固体リチウムイオン薄膜電池は、MEMSデバイスのオンチップ電源やエナジーハーベスタの電力貯蔵源などへの応用が注目されている。本研究グループでは、成膜の際に昇温を必要としないアモルファス薄膜で構成された全固体薄膜電池の作製および評価を行っている。今回Li₃PO₄添加酸化バナジウム(V₂O₅+LPO)正極、LiPON電解質、およびSi負極のアモルファス薄膜からなる薄膜電池を作製し、その充放電特性を評価した。