[11a-Z13-1~10] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[11a-Z13-1] Vapor depositing polymerfization of silsesquioxane thin films and their electrical properties

〇Yamato Ogawa¹, Satsuki Mayuzumi¹, Hiroaki Usui¹ (1.Tokyo Univ. Agri. & Tech.)

Keywords:vapor deposition

シルセスキオキサン(POSS)は有機-無機ハイブリッド材料であり、有機的特徴と無機的な特徴を合わせ持つ。これを薄膜化することにより、耐久性に優れた絶縁性薄膜を形成できる可能性がある。そこで本研究ではアクリル基を官能基として持つPOSSを蒸着し、薄膜を作製した。また、製膜時に電子照射を行うことで高分子薄膜を形成できるとともに、耐熱性が向上することを見出した。