[11a-Z18-1~10] 3.11 Photonic structures and phenomena

[11a-Z18-4] Fabrication and Characterization of L3 Nanocavities Designed Based on Machine Learning (2)

〇Takeshi Shibata¹, Takashi Asano¹, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:photonic crystal nanocavity, machine learning

我々が機械学習を用いて設計したL3共振器の理論Q値は、空気孔半径が102.5 nmでかつ構造揺らぎがない場合は2900万であるが、実際に作製すると孔半径・位置の揺らぎが生じるとともに、平均的孔半径もプロセス条件によって変動し得る。このことを考慮して、電子ビーム描画時の孔半径を異なる値に設定して複数の共振器を作製し、これらの実験Q値を評価した。その結果、L3共振器における最高実験Q値285万を達成することができた。