[11a-Z18-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[11a-Z18-4] 機械学習を用いて設計したL3ナノ共振器の作製・評価 (2)

〇柴田 武志¹、浅野 卓¹、野田 進¹ (1.京大院工)

キーワード：フォトニック結晶ナノ共振器, 機械学習

我々が機械学習を用いて設計したL3共振器の理論Q値は、空気孔半径が102.5 nmでかつ構造揺らぎがない場合は2900万であるが、実際に作製すると孔半径・位置の揺らぎが生じるとともに、平均的孔半径もプロセス条件によって変動し得る。このことを考慮して、電子ビーム描画時の孔半径を異なる値に設定して複数の共振器を作製し、これらの実験Q値を評価した。その結果、L3共振器における最高実験Q値285万を達成することができた。