[11a-Z18-1~10] 3.11 Photonic structures and phenomena

[11a-Z18-7] Dry etching for photonic crystal laser structure with high-mesa waveguide

〇Shota Aomori¹, Takuya Higuchi¹, Masato Morifuji¹, Hirotake Kajii¹, Masahiko Kondow¹ (1.Graduate School of Engineering, Osaka Univ.)

Keywords:semiconductor, photonic crystal

ドライエッチングによってAlGaAs/GaAs多層膜上にフォトニック結晶レーザのパターンを作製する方法について検討を行った。従来、我々の研究室では層ごとに3つの段階に分割してガス比を変化させてエッチングを行うことでパターンを作製してきた。しかし、この方法ではプロセスの制御が難しかったため、本研究では1段階のみのエッチングによってパターンを作製することが可能なエッチングパラメータの探索を行った。