[11a-Z18-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[11a-Z18-7] ドライエッチングによるメサ型導波路を有するフォトニック結晶レーザ構造作製の検討

〇青盛 翔太¹、樋口 拓也¹、森藤 正人¹、梶井 博武¹、近藤 正彦¹ (1.阪大院工)

キーワード：半導体, フォトニック結晶

ドライエッチングによってAlGaAs/GaAs多層膜上にフォトニック結晶レーザのパターンを作製する方法について検討を行った。従来、我々の研究室では層ごとに3つの段階に分割してガス比を変化させてエッチングを行うことでパターンを作製してきた。しかし、この方法ではプロセスの制御が難しかったため、本研究では1段階のみのエッチングによってパターンを作製することが可能なエッチングパラメータの探索を行った。