[11a-Z27-1~6] 11.4 Analog applications and their related technologies

[11a-Z27-6] Noise reduction in superconducting tunnel junction detector by using membrane

〇(M1)Taiga Shibasaki¹, Go Fujii², Masahiro Ukibe², Takahiro Kikuchi², Masato Naruse¹, Hiroaki Myoren¹, Tohru Taino¹ (1.Saitama Univ., 2.AIST)

Keywords:superconducting, STJ detector, X-ray detector

高いエネルギー分解能を有するSTJ検出器は、軽元素を含む次世代省エネルギー半導体の研究開発等に応用されるが、基板信号が特性X線の検出を阻害する問題がある。そこで我々はSTJ検出器直下のSi基板を除去し、自立SiNメンブレン上にSTJ検出器を集積することで、基板信号の原因となるSTJ電極直下でのX線吸収を無くすことを検討した。本研究では、Si基板上へのメンブレン形成方法の確立とメンブレン直下のSi基板の深掘りを行った。