[11a-Z27-1~6] 11.4 アナログ応用および関連技術

[11a-Z27-6] メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減に関する研究

〇(M1)柴崎 太我¹、藤井 剛²、浮辺 雅宏²、菊地 貴大²、成瀬 雅人¹、明連 広昭¹、田井野 徹¹ (1.埼玉大院、2.産総研)

キーワード：超伝導, STJ検出器, X線検出器

高いエネルギー分解能を有するSTJ検出器は、軽元素を含む次世代省エネルギー半導体の研究開発等に応用されるが、基板信号が特性X線の検出を阻害する問題がある。そこで我々はSTJ検出器直下のSi基板を除去し、自立SiNメンブレン上にSTJ検出器を集積することで、基板信号の原因となるSTJ電極直下でのX線吸収を無くすことを検討した。本研究では、Si基板上へのメンブレン形成方法の確立とメンブレン直下のSi基板の深掘りを行った。