[11p-Z02-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [11p-Z02-10] ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上への
AlNのMOVPE成長

〇伊庭 由季乃¹、正直 花奈子¹、窪谷 茂幸²、上杉 謙次郎²、肖 世玉³、三宅 秀人^3,1 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：有機金属気相成長, AlN, ナノパターン加工

我々は、サファイア基板にスパッタ堆積したAlN膜をface-to-face配置で高温アニール処理することにより低転位密度のAlNテンプレートを実現しており、この上にFFA Sp-AlNを形成することで、転位密度の低いAlN膜を実現している。しかし、ナノパターン上へのAlNのMOVPE成長条件がAlN膜の結晶性に与える影響は明らかになっていない。本研究では、ナノパターン加工FFA Sp-AlN上に異なるMOVPE成長条件でAlN成長を行い、結晶性に与える影響を調べた。