[11p-Z02-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-Z02-16] N極性面AlNおよびAlGaN / AlNヘテロ構造の結晶成長と評価

〇伊藤 忠寿¹、安高 和哉¹、坂本 凌太¹、姚 永昭²、石川 由加里²、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大学院、2.ファインセラミックスセンター)

キーワード：MOVPE, N極性面AlN, HEMT