[11p-Z09-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[11p-Z09-15] 光学干渉非接触温度測定(OICT)を用いた実測反射率測定における光吸収要因解析

〇小柳 樹¹、水川 友里²、花房 宏明²、東 清一郎² (1.広大院先端研、2.広大院先進理工)

キーワード：OICT

これまでに赤外レーザーを用いた光学干渉非接触温度測定(Optical Interference Contactless Thermometer : OICT)[1]を用いて、シリコンウェハ上の金属薄膜を通電加熱することでデバイスの自己発熱を模擬した場合の熱拡散過程について報告した. 本研究では、シリコンウェハ上の金属薄膜に通電加熱した時に実測した反射率波形のパルス幅依存性について調査した。