[11p-Z09-1~15] 13.5 Semiconductor devices/ Interconnect/ Integration technologies

[11p-Z09-2] [The 11th Silicon Technology Division Award Speech] 25-Gb/s × Four-Channel Chip-Scale Optical Receiver Operating at up to 85 °C with a Temperature-Compensation Function

〇Daisuke Okamoto¹, Yasuyuki Suzuki¹, Yasuhiko Hagihara², Mitsuru Kurihara², Takahiro Nakamura¹, Kazuhiko Kurata² (1.PETRA, 2.AIOcore)

Keywords:silicon photonics, optical interconnection

Siフォトニクス技術を用いて，5 × 5 mm²サイズの小型光レシーバチップを作製した．この光レシーバには28-nm Si-CMOSプロセスで作製したtransimpedance amplifierを用いており，高温における特性劣化を補償する温度補償回路が搭載されている．この温度補償機能を用いて，85℃の高温環境における高感度動作と25-Gb/s × 4チャネルの高速動作を実証した．