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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[11p-Z12-1~17] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2020年9月11日(金) 12:30 〜 17:15 Z12

鳥越和尚(SUMCO)、前田進(GWJ)、佐々木拓生(量研機構)、須藤治生(GWJ)

15:00 〜 15:15

△ [11p-Z12-10] CZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に与える窒素の影響 (3)

〇谷口元春¹、末岡浩治²、宝来正隆³ (1.岡県大院情工、2.岡県大情工、3.SUMCO)

キーワード：点欠陥, 窒素, 第一原理解析