[11p-Z12-1~17] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[11p-Z12-17] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩI) 炭素濃度の低減と測定法の進歩:Carbon engineering

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪府立大学)

キーワード：シリコン結晶, 炭素不純物濃度測定, 赤外吸収

炭素濃度低減と高感度化は相乗的に進む。低減にはCO発生を抑えガス流により除去する。大直径用減圧CZ 炉が導入されSiO₂落下による有転位化防止に融液が覆われ、ガス流が融液に近づいた。80年代に炭素汚染が研究され一部で10¹⁴/cm³台が実現した。2005年頃自動車からパワーデバイス時代が始まり、炭素の利用と低減が進んだ。測定法の研究と人工参照試料(最低10¹³/cm³)などにより感度はそこまで進歩した。