[11p-Z12-1~17] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [11p-Z12-9] ANNポテンシャルによるSi結晶中の安定な原子空孔クラスターの形態検証

〇(M1)後口 拓登¹、横井 達矢²、野田 祐輔³、神山 栄治⁴、大櫃 万聖¹、永倉 大樹¹、末岡 浩治⁴ (1.岡山県大院情報系工、2.名古屋大院工、3.金沢学院大経済情報、4.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン, 原子空孔, 深層学習

CZ法によるSi単結晶は以前にも増して，無欠陥性が求められている．シリコン結晶内の微小な欠陥は，実験で検出することが難しいため，計算機による解析が有効である．第一原理計算法では，計算コストの面から不可能であった解析も，機械学習を用いて開発した原子間ポテンシャルでは，精度良く，かつ低い計算コストで解析を行うことができる．本研究では，各形態の原子空孔クラスターの安定性を算出することを目的とした．