[11p-Z28-1~12] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

△ [11p-Z28-4] Analysis of highly purified Semi-SWCNTs networks by AFM-Raman

〇kazuki isogai¹, Yasuhiko Fujita², Masataka Murakami², Takayoshi Hirai¹, Yasuhiro Kobayashi¹, Seiichiro Murase¹ (1.Toray, 2.TRC)

Keywords:CNT, AFM-Raman, TFT

CNT-TFTの移動度向上に向け、実デバイスのCNTネットワーク構造の解明を目的に、AFM-Raman法によるCNT1本レベルでの構造解析を行った。実デバイスに近い状態での高半導体純度CNTネットワークの詳細な状態を始めて可視化でき、さらに金属型CNTは低結晶性であるとわかった。金属型CNTの除去は、金属型CNTによるデバイス短絡を単に抑制するだけでなく、低結晶性のCNTの低減により移動度向上に効果をもたらすことが示唆された。