[11p-Z29-1~16] 17.3 層状物質

[11p-Z29-8] 流体及び液滴下における二硫化モリブデン電界効果トランジスタの動作特性

〇田中 悠太¹、高岡 毅²、和泉 廣樹¹、Md Iftekhaharul Alam¹、Muhammad Shamim Al Mamun¹、米田 忠弘² (1.東北大院理、2.東北大 多元研)

キーワード：電界効果トランジスタ, カルコゲナイド系層状物質

半導体である二硫化モリブデン(MoS₂)は、非常に弱いファンデルワールス力で支持される層状物質であり、簡便に薄膜を得ることが可能である。薄膜を持つ原子層物質は比表面積が大きく、電子物性が高感度で表面状態に依存する。本研究では、このような性質をもつMoS₂を、高感度な分子センサとして応用することが可能であると考え、検討を行う。