2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[8a-Z01-1~4] 材料・デバイスを繋ぐ極限環境ナノ界面科学

2020年9月8日(火) 09:30 〜 11:30 Z01

永村 直佳(物材機構)、菅原 徹(阪大)

09:30 〜 09:45

[8a-Z01-1] 材料界面とデバイス特性、信頼性

菅原 徹1、伊庭野 健造1 (1.大阪大学)

キーワード:材料界面, デバイス, 特性と信頼性

デバイスは、多くの材料界面により構成されている。材料界面の物性は、デバイス特性や信頼性を大きく左右する。本研究では、デバイス使用中において材料界面の挙動を科学的に探究し、その重要性を問題提起する。