[8a-Z02-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [8a-Z02-3] HVPE-GaNバルク結晶におけるa及びa+cタイプ貫通転位の3次元的伝播挙動の解析

〇濱地 威明¹、藤平 哲也¹、林 侑介¹、今西 正幸²、森 勇介²、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.阪大院工)

キーワード：窒化ガリウム, 貫通転位, バーガースベクトル

本研究では、Na-flux-GaN上にハイドライド気相成長法（HVPE）によりホモエピタキシャル成長させたGaNバルク結晶において，特に，b=1a及びb=1a+1c を有する貫通転位の3次元的な傾斜伝播挙動と，それに及ぼすヒロックの影響について解析した． その結果、両者の貫通転位は明らかに異なる傾斜挙動を示すことが明らかとなり、特に、b=1aの挙動には、ヒロックの面傾斜が強く関連することが示唆された。当日は、これらの転位の傾斜特性とバーガースベクトルの関連性や、弾性論に基づく解析との比較についても議論する。