[8a-Z04-1~15] 8.1 Plasma production and diagnostics

[8a-Z04-1] Simultaneous measurement of atomic oxygen and ozone densities under pure oxygen short-gapped discharge

〇Yusuke Nakagawa¹, Takuya Kawakita¹, Satoshi Uchida¹, Fumiyoshi Tochikubo¹ (1.Tokyo Metro Univ.)

Keywords:atomic oxygen, ozone, laser spectroscopy

大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(³P)とオゾンO₃が重要な役割を担うが、これらの生成に有利な純酸素放電におけるO (³P) の挙動は、未解明である。これは、O (³P) 密度の分光測定において、O₃の光解離によるO (³P) 生成（オゾン干渉）が擾乱となり、正確な測定が困難なためである。本研究では、二光子励起レーザ誘起蛍光法(TALIF)におけるO (³P)とO₃の信号のレーザ光強度依存性に着目し、O (³P)密度とO₃密度の同時計測を行った。