[8a-Z04-1~15] 8.1 プラズマ生成・診断

[8a-Z04-1] 極短ギャップ純酸素放電における酸素原子とオゾンの同時密度計測

〇中川 雄介¹、川北 拓弥¹、内田 諭¹、杤久保 文嘉¹ (1.東京都立大学)

キーワード：酸素原子, オゾン, レーザー分光

大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(³P)とオゾンO₃が重要な役割を担うが、これらの生成に有利な純酸素放電におけるO (³P) の挙動は、未解明である。これは、O (³P) 密度の分光測定において、O₃の光解離によるO (³P) 生成（オゾン干渉）が擾乱となり、正確な測定が困難なためである。本研究では、二光子励起レーザ誘起蛍光法(TALIF)におけるO (³P)とO₃の信号のレーザ光強度依存性に着目し、O (³P)密度とO₃密度の同時計測を行った。