[8a-Z04-1~15] 8.1 プラズマ生成・診断

[8a-Z04-10] フローティングパルスプローブ法による電子温度の測定

〇片平 豪¹、大内 幹夫¹、佐藤 修一¹ (1.東京電機大)

キーワード：電子温度, 浮動電位, ラングミュアプローブ法

プラズマを測定する基礎的な方法として、ラングミュアプローブ（LP）法が挙げられる。しかし、プローブ表面の絶縁物の影響などから、プローブ特性を解析することによって得られるプラズマパラメータに誤差が発生してしまう。そこで、当研究グループでは、LP法よりも解析が簡便で、プローブに電流を流さずに測定が行えるトーンバーストフローティングプローブ（TBFP）法を検討した[1,2]。このTBFP法のより高度な精密性を議論するために、LP法とは異なるプローブ法の導入が必要である。本研究では、プローブにパルス信号を印加するフローティングパルスプローブ（FPP）法を新規に提案する。従来法と比較することで、その有効性について系統的に研究を行った。