[8a-Z04-1~15] 8.1 プラズマ生成・診断

[8a-Z04-14] RF 低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの外部パラメータ依存性

〇鈴木 駿¹、石井 晃一¹、小田 昭紀¹、渡邉 泰章²、太田 貴之³、上坂 裕之⁴ (1.千葉工大、2.イノベーションサイエンス(株)、3.名城大、4.岐阜大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン, テトラメチルシランプラズマ, 質量分析

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，高硬度や低摩擦性，ガスバリア性を有するため，切削工具やPETボトルのコーティングなど様々な分野で応用されている．その際，Siを含有したDLCは，更なる低摩擦特性をもつことから，自動車の摺動部品への適用が大きく期待されている．本講演では，Si含有DLC成膜を目的とした希ガス希釈されたテトラメチルシランプラズマ中の基板への入射イオンやラジカルの質量分析の結果を報告する．