[8a-Z04-1~15] 8.1 プラズマ生成・診断

[8a-Z04-15] アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築と ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成

〇井野 雄太¹、大津 康徳¹、安永 健²、池上 康之² (1.佐大理工院、2.佐大海エネ)

キーワード：プラズマ, スパッタリング

近年、撥水性のある素材が注目されており、この技術は自動車窓材の撥水化に利用されている．自動車窓材軽量化のために次世代窓材としてポリカーボネート(PC）が検討されている.今回は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)をターゲットに用いて、高周波マグネトロンスパッタリングにより 100°を超える撥水性薄膜を合成することを目的とし、高周波マグネトロンスパッタ装置を構築し、水滴接触角の計測を行った.