[8a-Z04-1~15] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [8a-Z04-6] Comparison between temperatures of metastable argon and helium atoms in argon/helium mixture plasmas

〇Kosuke Takada¹, Shusuke Nishiyama², Sasaki Koichi¹ (1.Hokkaido Univ., 2.Japan Health Care College)

Keywords:mixture plasmas

プラズマプロセシングには混合ガスが用いられることが多い。混合ガスを用いたプラズマのガス温度を知りたいとき、ガス種一つの分子発光スペクトルや原子吸収スペクトルからガス温度を求めることが多いが、このように計測された温度が混合ガスを代表するガス温度といえるかどうかは検討を要する。そこで、本研究では、アルゴンとヘリウムが混合されたプラズマにおける準安定状態アルゴン原子、準安定状態ヘリウム原子、および、放射性励起状態ヘリウム原子の並進温度をそれらの速度分布関数のドップラー幅から求め、比較した。